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表 面 分 析 装 置	AES	PHI 700
	ESCA	PHI Quantera SXM PHI 5000 VersaProbe
	TOF-SIMS	PHI TRIFT V nanoTOF
	D-SIMS	PHI ADEPT-1010
	コンポーネンツ	06-C60　C60　スパッタイオン銃 06-350/350E　スパッタイオン銃 FIG-5　スパッタイオン銃 USG-3　スパッタイオン銃 PHI 3017　CMA型オージェ電子分析器 PHI 1248　X線源発生器 PHI MultiPak　データ解析用ソフトウェア
	カスタムシステム	カスタムシステム
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