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今回開発した PHI TRIFT V nanoTOF ™ は、当社の従来装置(TRIFT IV)の特長を継承しつつ、さらに性能、操作性を飛躍的に向上させました。 PHI TRIFT V nanoTOF ™ の特長を以下に示します。
(1) 光学系の改良により、質量分解能、空間分解能が大幅に向上しました。また従来装置と同様、トリプルフォーカス静電アナライザーの深い焦点深度は複雑な形状を持つ試料のシャドーのないイメージングを実現します。
(2) コンピュータ制御による自動５軸ステージ、自動高さ調整機能を実現し、複雑な形状を持つ試料のハンドリング、最適分析位置の設定を極めて容易にしました。 また、試料受け渡しから測定までの自動運転が可能です。
(3) 最大４種類のイオン銃の搭載を可能にしましたので、イオン種の選択の幅が広がり、試料および目的に応じた最適なイオン銃を選択することができます。例えば有機物には高い感度が得られるC60イオン銃、半導体、金属には液体金属イオン銃。スパッタ用にセシウムイオン銃、酸素イオン銃といった組み合わせが可能です。
(4) 低エネルギーの電子線、イオンビームを組み合わせたデュアルビーム帯電中和法をTOF-SIMSでは初めて実現し、 絶縁物の帯電中和測定が容易になりました。
PHI TRIFT V nanoTOF ™ はトリプルフォーカス静電アナライザーを基礎とする当社TRIFTシリーズを継承しつつ、性能、操作性を飛躍的に発展させた装置です。ざまな有機・無機材料の高感度分析、イメージングはもとより、バイオなどの先端研究分野への適用も容易になっています。
本件に関する問合せ先：国内・海外営業部 0467-85-4220（直通）
新飛行時間型二次イオン質量分析装置を発表 【2006.8】
新しい飛行時間型二次イオン質量分析装置 PHI TRIFT V nanoTOF ™ を開発し、デモ分析および受注を開始しました。今回開発した PHI TRIFT V nanoTOF ™ は、当社の従来装置(TRIFT IV)の特長を継承しつつ、さらに性能、操作性を飛躍的に向上させました。 PHI TRIFT V nanoTOF ™ の特長を以下に示します。
(1) 光学系の改良により、質量分解能、空間分解能が大幅に向上しました。また従来装置と同様、トリプルフォーカス静電アナライザーの深い焦点深度は複雑な形状を持つ試料のシャドーのないイメージングを実現します。
(2) コンピュータ制御による自動５軸ステージ、自動高さ調整機能を実現し、複雑な形状を持つ試料のハンドリング、最適分析位置の設定を極めて容易にしました。 また、試料受け渡しから測定までの自動運転が可能です。
(3) 最大４種類のイオン銃の搭載を可能にしましたので、イオン種の選択の幅が広がり、試料および目的に応じた最適なイオン銃を選択することができます。例えば有機物には高い感度が得られるC60イオン銃、半導体、金属には液体金属イオン銃。スパッタ用にセシウムイオン銃、酸素イオン銃といった組み合わせが可能です。
(4) 低エネルギーの電子線、イオンビームを組み合わせたデュアルビーム帯電中和法をTOF-SIMSでは初めて実現し、 絶縁物の帯電中和測定が容易になりました。
PHI TRIFT V nanoTOF ™ はトリプルフォーカス静電アナライザーを基礎とする当社TRIFTシリーズを継承しつつ、性能、操作性を飛躍的に発展させた装置です。ざまな有機・無機材料の高感度分析、イメージングはもとより、バイオなどの先端研究分野への適用も容易になっています。
本件に関する問合せ先：国内・海外営業部 0467-85-4220（直通）
新飛行時間型二次イオン質量分析装置を発表 【2006.8】
新走査型X線光電子分光分析装置を発表 【2006.8】
C60イオン銃 販売開始 【2004.11】
