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Ionoptika製品
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マイクロマシーニング、イメージングSIMS用等の多目的高性能イオン銃です。低加速から高加速までのイオンビーム、C60イオン銃、ガスイオン銃（デュオプラズマトロン）、および液体金属イオン銃（ガリウム、金など）のラインナップをご用意しています。 |
多目的高性能イオン銃のラインナップを提供します。
Ionoptika社は、C60クラスター・イオン銃、金クラスター・イオン銃、“FLIG (Floating Ion Gun)”低速イオン銃を
いち早く商品化してきました。それらは多くの表面分析装置に用いられてきた実績があります。
低加速イオンビームから、高加速イオンビームまで、C60イオン銃、ガスイオン銃（デュオプラズマトロン）、
および液体金属イオン銃（ガリウム、金など）のラインナップをご用意しています。
| シリーズ | 商品名 | イオン種 | 加速電圧 | 最小ビーム径 |
| C60 Ion Beams | IOG C60-20 | C60 | 10-20kV | 2μm |
|---|---|---|---|---|
| IOG C60-40 | C60 | 10-40kV | 0.3μm | |
| Duoplasmatron Ion Beams |
FLIG5® | O2 | お問い合わせ下さい | お問い合わせ下さい |
| IOG 5D | O2/Ar/H2/Xe | 1-5kV | 5μm | |
| IOG 30D | O2/Ar/H2/Xe | 5-30kV | 300nm | |
| Liquid Metal Ion Beams |
IOG 25Ga | Ga | 25 kV | 50 nm |
| IOG 25Au | Au | 25 kV | 50 nm |
