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GammaVacuum製品

油を一切必要としないイオンポンプは、クリーンな超高真空(UHV)、極高真空(XHV)の実現と維持のために最適なポンプです。 TiTan^TM イオンポンプシリーズは、お客様の用途に合わせエレメントタイプ、排気速度、ポンプデザインを豊富にそろえています。

エレメントタイプ: ・コンベンショナル型(Conventional：Conv.)：陰極材は二極共にチタンのエレメントを使いスパッタ効率を高めています。
・希ガス対応型ポンプ(Differential：DI ,TiTan)：DIイオンポンプは、空気や純アルゴンの導入に対し
「空気安定性」や「アルゴン安定性」の排気が可能です。
排気速度: 2 l/s〜800 l/s、 17種類をご用意しています。
ポンプデザイン: Tall型, Low Profile型をご用意してスペースに合わせたポンプの選択が可能です。
その他: ・オイルフリーなのでクリーンな排気が可能です。
・メンテナンスフリー、無振動、無騒音、停電時の対策が極めて簡単です。
・チタンサブリメーションポンプをクライオシールド板と共にご提供可能です。
・非蒸発型ゲッターポンプ（NEG）を組み入れてご提供可能です。
・高圧トランスを用いた電源を採用し、極めて低ノイズです。
・放射線環境（放射光施設）を考慮したケーブル部材をご提供しています。