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GammaVacuum製品

油を一切必要としないイオンポンプは、クリーンな超高真空(UHV)、極高真空(XHV)の実現と維持のために最適なポンプです。 TiTan^TM イオンポンプシリーズは、お客様の用途に合わせエレメントタイプ、排気速度、ポンプデザインを豊富にそろえています。

超高真空（10^-8Pa以下）が得られるイオンポンプのラインナップを提供します。
用途に応じて最適なポンプを小型から大型まで約20種から選択可能です。
デジタルコントロールの操作性向上により遠隔操作も可能。
ファイ表面分析装置で長年用いられてきた経験から、アルゴンガスの排気速度が標準大気に対して20%程度と高く　（DIタイプ）、高電圧トランス方式の採用によりノイズの発生が低減されており、表面分析機器に用いるポンプとして最適との評価をいただいております。また、高電圧ケーブルは安全性も考慮したインターロック機構内蔵の3芯構成で、かつ放射線環境でも利用可能です。

エレメントタイプ、フィードスルー、ヒーター電圧、チタン蒸発ポンプをオプションとして選択できます。
コントローラ、ベーキングヒーター、ケーブルは別売です。
詳細及び価格についてはこちらのリンク先からお問い合わせください。

シリーズ	ポンプ型式	サイズ（mm）	フランジ	排気速度（L/s）
TiTan^TM Small Ion Pumps	Mini	38x38x51	ICF034	0.2
	３S	45x45x108	ICF034	2-3
	１０S	107x113x190	ICF070	8-10
	２５S	202x125x130	ICF070	15-20
	４５S	209x251x130	ICF114	30-40
	７５S	277x242x130	ICF152	60-75
TiTan^TM Low Profile Ion Pumps	１００L	325x325x128	ICF152	80-100
	２００L	325x413x233	ICF203	160-200
	３００L	325x413x337	ICF203	240-300
	４００L	325x413x413	ICF203	320-400
	４００LX	537x413x233	ICF203	320-400
	６００L	325X513X513	ICF203	480-600
	６００LX	537X413X336	ICF203	480-600
	８００LX	537X413X413	ICF203	640-800
	１２００LX	517X517X507	ICF203	960-1200
TiTan^TM Tall Profile Ion Pumps	１５０TV	338X247X231	ICF152	120-150
	３００TV	345X450X231	ICF203	240-300
	６００TV	525X450X305	ICF203	480-600