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GammaVacuum製品
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油を一切必要としないイオンポンプは、クリーンな超高真空(UHV)、極高真空(XHV)の実現と維持のために最適なポンプです。 TiTanTM イオンポンプシリーズは、お客様の用途に合わせエレメントタイプ、排気速度、ポンプデザインを豊富にそろえています。 |

超高真空(10-8Pa以下)が得られるイオンポンプのラインナップを提供します。
用途に応じて最適なポンプを小型から大型まで約20種から選択可能です。
デジタルコントロールの操作性向上により遠隔操作も可能。
ファイ表面分析装置で長年用いられてきた経験から、アルゴンガスの排気速度が標準大気に対して20%程度と高く (DIタイプ)、高電圧トランス方式の採用によりノイズの発生が低減されており、 表面分析機器に用いるポンプとして最適との評価をいただいております。また、高電圧ケーブルは安全性も考慮したインターロック機構内蔵の3芯構成で、かつ放射線環境でも利用可能です。
エレメントタイプ、フィードスルー、ヒーター電圧、チタン蒸発ポンプをオプションとして選択できます。
コントローラ、ベーキングヒーター、ケーブルは別売です。
詳細及び価格については こちらのリンク先 からお問い合わせください。
| シリーズ | ポンプ型式 | サイズ(mm) | フランジ | 排気速度(L/s) |
| TiTanTM Small Ion Pumps |
Mini | 38x38x51 | ICF034 | 0.2 |
|---|---|---|---|---|
| 3S | 45x45x108 | ICF034 | 2-3 | |
| 10S | 107x113x190 | ICF070 | 8-10 | |
| 25S | 202x125x130 | ICF070 | 15-20 | |
| 45S | 209x251x130 | ICF114 | 30-40 | |
| 75S | 277x242x130 | ICF152 | 60-75 | |
| TiTanTM Low Profile Ion Pumps |
100L | 325x325x128 | ICF152 | 80-100 |
| 200L | 325x413x233 | ICF203 | 160-200 | |
| 300L | 325x413x337 | ICF203 | 240-300 | |
| 400L | 325x413x413 | ICF203 | 320-400 | |
| 400LX | 537x413x233 | ICF203 | 320-400 | |
| 600L | 325X513X513 | ICF203 | 480-600 | |
| 600LX | 537X413X336 | ICF203 | 480-600 | |
| 800LX | 537X413X413 | ICF203 | 640-800 | |
| 1200LX | 517X517X507 | ICF203 | 960-1200 | |
| TiTanTM Tall Profile Ion Pumps |
150TV | 338X247X231 | ICF152 | 120-150 |
| 300TV | 345X450X231 | ICF203 | 240-300 | |
| 600TV | 525X450X305 | ICF203 | 480-600 |
