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PHI 700

走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM)

AES 走査型オージェ電子分光分析装置 PHI 700 オージェ電子分光法 ( AES: Auger Electron Spectroscopy) は、表面に電子線を照射し、試料表面から放出されるオージェ電子のエネルギーを測定することにより表面の元素組成および元素分布に関する情報を得る手法です。
PHI 700は、ナノメートルレベルでの微小部オージェ分析を実現した装置です。
また、アコースティックエンクロージャと内蔵除振台機構を装備することで、従来のオージェでは不可能であった50万倍での元素分析および元素分布測定を実現しました。

特長

最高空間分解能6nm
30年以上のノウハウを蓄積した円筒鏡型分光器（CMA）による高感度オージェ分析
電子銃を円筒鏡型分光器（CMA）に同軸に配置し、試料形状効果を低減した測定
アコースティックエンクロージャーと内蔵除振機構の採用による高い分析位置安定性
フローティング型イオン銃による高分解能深さ方向分析および絶縁物の帯電中和測定
Windows®XP対応オペレーションソフトウェア（SMART-Soft）による容易な操作性
データ解析ソフトウェア（MultiPak™）による容易且つ高度なデータ解析機能

主な仕様

AEM空間分解能 ≦8 nm @ 20 kV, 1 nA
感度 700 kcps ( Cu LMM ) @ 10 kV, 10 nA
到達圧力 6.7×10-8Pa以下
オプション 6試料パーキング機構、試料冷却破断機構等

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