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PHI 700
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オージェ電子分光法 ( AES: Auger Electron Spectroscopy) は、試料に電子線を照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し、試料表面の元素組成および元素分布を得る分析手法です。 PHI 700 走査型オージェ電子分光分析装置は、8nm以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ装置です。アコースティックエンクロージャを標準装備し、従来のオージェ分析では不可能であった50万倍での低ドリフト（測定位置がほとんど動かない測定条件）でのオージェ分析が可能となり、真のナノメートルレベルでの微小部オージェ分析が実現します。 |
特長1 ： 世界唯一 8nm以下のオージェ分析空間分解能を保証
PHI 700は、世界で唯一 オージェ分析時の電子ビーム径ではなくオージェ信号強度で8nm以下の空間分解能を保証しているオージェ分析装置です。微小オージェ分析には、電子ビーム径だけでなく、現実的な分析条件で高感度・電子ビームの安定性が同時に実現される必要があります。
PHI 700では、これらのスペックをそれぞれ別々の条件で最高性能を保証するのではなく、オージェ分析に使用する現実的な測定条件で性能保証しています。（注：PHI 700 がオージェ信号強度で空間分解能の保証をおこなう 世界唯一のオージェ分析装置 であることが、この事実の重要性を証明しています）
特長2 ： フラットな感度特性
現実的に分析したい材料の多くは凹凸がある試料です。
PHI 700は、CMA（円筒鏡型分析器）による同軸オージェ測定を採用しています。
CMAは電子線の入射角に対してフラットな感度特性があり、凹凸のある試料でも問題なく
元素分析・分布分析が可能です。
オージェ分析装置に用いられる2種類のエネルギーアナライザー（CMAとSCA）の感度特性比較。
PHI 700が採用しているCMAは通常のオージェ分析に用いられる角度範囲で、きわめて高感度かつフラットな感度特性を示します。SCAの場合、電子ビーム入射角60度では感度が高く見える場合でも、すべての試料傾斜角度でCMAよりも感度が高いとはいえず、試料に凹凸がある場合に分析できない影の部分ができることがわかります。
酸窒化シリコン、ナノコーンのオージェマップ
主な特長
最高空間分解能6nm30年以上のノウハウを蓄積した円筒鏡型分光器（CMA）による高感度オージェ分析
電子銃を円筒鏡型分光器（CMA）に同軸に配置し、試料形状効果を低減した測定
アコースティックエンクロージャーと内蔵除振機構の採用による高い分析位置安定性
フローティング型イオン銃による高分解能深さ方向分析および絶縁物の帯電中和測定
Windows®XP対応オペレーションソフトウェア（SMART-Soft）による容易な操作性
データ解析ソフトウェア（MultiPak™）による容易且つ高度なデータ解析機能
主な仕様
| AES空間分解能 | < 8 nm （オージェ分析時SEM分解能 < 6nm） |
|---|---|
| 感度 | 700 kcps ( Cu LMM ) @ 10 kV, 10 nA |
| エネルギー分解能 | 0.5 % 以下 |
| 到達圧力 | 6.7×10-8Pa以下 |
| ソフトウェア | PHI SMARTSoft AES（測定ソフトウェア Windows®XP）、 PHI MultiPak（解析ソフトウェア Windows®XP） |
| オプション | 6試料パーキング機構、試料冷却破断機構等、トランスフォーベッセル、
高エネルギー分解能測定オプション（HR)、各種特殊試料ホルダー |
