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Quantera SXM ™ 走査型X線光電子分光分析装置
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Ｘ線光電子分光法 (XPS: X-Ray Photoelectron Spectroscopy, ESCA: Electron Spectroscopy for Chemical Analysis )は、試料にＸ線を照射し、試料表面から放出される光電子のエネルギーを測定することにより表面の組成並びに化学結合状態に関する情報を得る手法です。 Quantera SXM™ は、最小9μm～200μmのX線ビームを走査することが可能な微小領域Ｘ線光電子分光分析装置です。 微小領域における高感度分析はもとより、深さ方向分析・自動分析に卓越した性能を発揮し、高いスループットで分析ニーズに応えます。 |
特長
走査型マイクロフォーカスＸ線源による微小領域分析（最小分析領域9μm）
新開発分光器、32チャンネル検出器の採用による高感度分析
ＳＸＩ ( Scanning X-ray Image ) により、正確・迅速に微小な分析位置を特定
低エネルギー電子とイオンの同時照射により、絶縁物試料を容易に帯電中和
自在なパラメータ設定によるハイパフォーマンス深さ方向分析
ＵＨＶロボトロニクスを用いた完全自動分析
Windows®XP対応オペレーションソフトウェア （ PHI Compass ）による容易な操作性
データ解析ソフトウェア（MultiPak™）による容易且つ高度なデータ解析機能
主な仕様
| 最小ビーム径 | 9μm以下 |
|---|---|
| 最高エネルギー分解能 | 0.49eV以下 （ Ag3d 5/2 ） |
| 最大感度 | 3.000.000cps （Ag3d 5/2の半値幅 1.3eVのとき） |
| 到達圧力 | 6.7×10-8Pa以下 |
| オプション | 加熱冷却ステージ、C60イオン銃、SPS(Sample Positioning Station）、デュアルターボ分子ポンプなど |
