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PHI TRIFT V nanoTOF ™ 飛行時間型二次イオン質量分析装置
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飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS: Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）はパルス状の一次イオンを試料に照射し、試料表面の数原子層から放出された原子イオン・分子イオンの飛行時間からその質量を求め表面の組成分析、イメージングを行う手法です。 TRIFT V nanoTOFTMはイオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザーを用いることで高い空間分解能・質量分解能を実現しています。 複雑な形状を持つ試料もシャドー効果なくイメージングできます。また新しく開発したステージは試料導入から測定までの自動運転を可能とし、操作性の大幅な向上を実現しています。 |
特長
光学系改良により高空間分解能・高質量分解能測定を実現
トリプルフォーカス静電アナライザーによる高感度・低バックグラウンド分析
複雑な形状を持つ試料、絶縁物試料など、多岐に渡る試料分析が可能
高精度5軸ステージと新設計試料導入系による受け渡しから測定までの自動運転
自動高さ調整機能により容易に複雑形状試料の容易な分析位置設定
最大4種類のイオン銃搭載可能
高度な3次元イメージング機能を容易な操作で実現
豊富なデータベースを用いた高度データ解析
Windows XP対応オペレーションソフトウェア（ WinCadenceN ）による容易な操作性
主な仕様
| 無機材料での質量分解能 | SiH+（m/z 29）にて 11.500M/ΔM以上 |
| 有機材料での質量分解能 | PET（m/z 104）にて 10,000M/△M以上 |
| 到達圧力 | 6.7×10-8Pa以下 |
| オプション | C60イオン銃、アルゴン/酸素イオン銃、セシウムイオン銃、試料冷却・加熱機構、 大型試料搬送機構・試料前処理室、トランスファーベッセル 他 |
