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06-350/350E　スパッタイオン銃

06-350/350E　 本イオン銃は、100μm以下のビーム径と3mA/cm2以上のイオン電流密度及び中性粒子除去機構を実現した画期的な差動排気型フローティングイオン銃です。また、フローティングレンズの搭載により高輝度な低速ビームを用いることが可能です。
パッケージの構成はイオン銃本体、イオン銃コントロール、手動のバリアブルリークバルブ、50ccのArガスボトルとイオン銃コントロール用のソフトウェアです。

特長

フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。
高イオン電流密度（>3 mA/cm2 @ 5 kV)により高速スパッタエッチングが可能です。
イオンビーム径を100μm以下( 5 kV)まで絞ることが可能です。
低速イオンビーム（>5 eV）が照射可能です。
中性粒子除去機構を搭載しています。
差動排気を行った場合､イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です｡
完全PC制御によるコントロール(11-066)及びWindows95/98/NT/2000/XP対応のコントロールソフトウェアが
標準で付属します。

主な仕様

諸元　　　　　型式 イオン銃 06-350
加速電圧　keV 0〜5
最大ビーム電流　μ 10以上※1
最大ビーム電流密度　mA／cm2 1以上※1
最小ビーム径　μm 200以下※1
ビーム偏向　mm 機械的：±5　　静電的：±3
ラスター範囲　mm 最大6×6
ソースタイプ 電子衝撃式
動作距離　mm 〜70※2
中性ビーム除去 5ºベントカラム

諸元　　　　　型式 コントロール 11-066
加速電圧　kV 0〜5
フロート電圧　 V 0〜500
外部制御 DDEソフトウェア制御による加速電圧ON／OFF
※1：加速電圧を5kV、動作距離30mm、ガス種にArを使用した場合
※2：イオン銃先端から試料までの距離