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06-C60 C60スパッタイオン銃
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06-C60は、これまで不可能とされていた有機物の低損傷エッチングができるC60イオン銃コンポーネントです。
有機物を表面分析する際の表面クリーニング前処理や、有機薄膜内部の化学構造や、有機積層材料の界面構造のXPS、TOF-SIMS分析等への応用が可能となりました。
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特長
Arイオンビームでは不可能であった有機物の表面クリーニング、
および低損傷深さ方向化学状態分析が可能です。
加速電圧１〜10kV、最大ビーム電流20nAのイオンビームを照射可能です。
ビーム径1mm以下まで絞ることが可能です。
従来機種のアップデートにも対応可能です。
英国Ionoptika社との共同開発製品です。
主な仕様
| イオン銃部 |
| 加速電圧 |
1〜10kV |
| 最大ビーム電流 |
20nA＊ |
| 最小ビーム径 |
1mm＊ |
| 静電ビーム偏向範囲 |
10mm×10mm＊＊,＊ |
| C60ソース |
ヒーター加熱式 |
| イオン化 |
電子衝撃式 |
| 動作距離 |
50〜63mm |
| 差動排気口 |
70mmCFフランジ |
＊加速電圧10kV、動作距離を63mmとし、差動排気口に50l/s以上のポ
ンプを取り付けた場合
＊＊XY独立、±240 V印加時 |
| イオン銃 コントロール |
| 加速電圧 |
1〜10kV |
| 外部制御 |
RS 232C |
| 寸法（mm） |
483（W）×132（H）×350（D） |
| 電力 |
115／240V AC, 4A（460W） |
| 重量 |
10kg |
| スキャンコントロール |
| インプット |
0〜10V （X,Y／Scan Width）
−5〜＋5V （X,Y／Offset） |
| 寸法（mm） |
483（W）×88（H）×395（D） |
| 電力 |
100〜240V AC, 1A（100W max） |
| 重量 |
8kg |
| ソフトウェア |
| 動作環境 |
Windows® XPベース、PC、シリアルポート |
| 制御 |
ソース加熱、加熱電圧、レンズ、電圧、ビームパーキング |
