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PHI 3017 CMA型オージェ電子分析器

PHI3017 電子銃を内蔵した同軸円筒鏡型エネルギー分析器（Cylindrical Mirror Analyzer）です。立体取込角が42º±6ºと大きく、高感度検出が可能です。電子銃と分析器が同軸に配置されているため、試料の凹凸の影響をが少ない定量性に優れたオージェスペクトルを得ることができます。さらに、当社独自の電界端末電極を備え、エネルギー分析器の両端末で均一な電場を形成でき、低運動エネルギー領域のスペクトルも問題なく測定することができます。検出系に検出電流を直接検出できるV/ｆモードと、さらにパルスカウントモード（オプション）による検出の両方のモード端子を標準装備しています。

特長

同軸円筒鏡型エネルギー分析器（Cylindrical Mirror Analyzer）は電子銃と分析器が同軸に配置されているため、試料の凹凸の影響が少ない定量性に優れたデータを得ることができます。
取込立体角を42º±6ºと大きく設計したため、高感度検出が可能です。
当社独自の電界端末電極を備え、エネルギー分析器の両端末で均一な電場を形成でき、低運動エネルギー領域のスペクトルも問題なく測定することができます。
検出系に検出電流を直接検出できるV/Fモードと、さらにパルスカウントモード（オプション）による検出の両方のモード端子を標準装備しています。
分析器のパラメーターはすべてコンピュータ(Windows OS)で制御することが可能です｡
制御・分析用ソフトウエアPHI SUMMITTは標準で含まれています。

主な仕様

S/N (Signal to Noise) 1600 : 1 以上（V/f mode, 5 kV, 1 μA)
750 : 1 以上 (Pulse count mode, 5 kV, 100 nA)(オプション)
250 : 1 以上 (Pulse count mode, 5 kV, 10 nA)(オプション)
取込立体角 42ºC ±6ºC(計算値）
透過率 10%（計算値）
エネルギー分解能 0.6 % 固定
動作距離 8.2 mm
掃引エネルギー範囲 0〜3,200 eV
最小エネルギーステップ 50 meV
電子銃の加速エネルギー 0.1〜5 kV
電子銃の最大ビーム電流 50μA
電子銃のフィラメント材質 W（タングステン）
フランジ‐試料距離 228.6 mm (Model 10-155)、279.4 mm (Model 15-155A)
取付フランジ 152 mm CFフランジ (Model 10-155)
203 mm CFフランジ (Model 15-155A)
磁気シールド ミューメタルシールド（一重）
ベーキング温度 最高150ºC
オプション パルスカウンティング
PCセット
データ解析PHI MultiPak™ソフトウエア
電流計、バイアスボックス　等