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PHI MultiPakデータ解析用ソフトウェア ™

PHI MultiPak^TMは優れたユーザーインターフェイスを実現したオージェ電子分光分析、光電子分光分析のデータ解析ソフトウエアです。高度な分析アルゴリズムによる最先端のデータ解析や、豊富なデータ処理機能による定量的、かつ効果的な表現を可能にします。

特長

Windows XP上で動作し、データベースによるピークの同定、Linear Least-Squares Fitting（LLS)、Target Factor Analysis（TFA）、Curve Fitting、スペクトルの重ね合わせ、拡大表示などの機能で、XPS/AESの多彩なデータ解析とデータプレゼンテーションを行なうことができます。
多数のデータをルーチン解析する場合には解析手順を自動化でき、データ出力や定量値のテーブル化作業などを自動処理することが可能です。
Ultra Thin Film Analysis（UTFA)と呼ぶ新たな手法を搭載し、スパッタエッチングを行うことなく非破壊で、極薄膜の構造解析を行うことが可能です（XPS限定）。
すべての処理結果は、コピー＆ペースト可能で迅速な電子レポート作成を支援します。