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USG-3スパッタイオン銃

USG-3 2Kvスパッタイオン銃は、アルゴン等の不活性ガスを導入することにより、試料表面をスパッタエッチングする目的で開発されたイオン銃です。
コントロールと組合わせることにより、イオンビームの加速、フォーカスが可能です。

特長

試料表面をスパッタエッチングするためのコンパクト、低コストイオン銃です。
アルゴン等の不活性ガスを分析室内に導入し、イオン銃を動作させるだけで、簡単にスパッタリングを行うことが可能です。
USC-１専用イオン銃コントロールにより、最大加速 2kVのイオンビームの利用、ビームフォーカスの調整等が可能です。

主な仕様

諸元　　　　　型式 2kVスパッタイオン銃Model USG-3
ビーム電圧　kV 最大2
ビーム電流密度 50μA/cm2先端より50mmの距離
ビーム径　　mmφ 〜 6
動作圧力　Pa 6.7×10-3（Arガス導入）
取付フランジ UFC070
長さ（チャンバ内）　mm 178または241.5
ベーク温度　ºC 最大250

諸元　　　　　型式 イオン銃コントロールModel USC-1
ビーム電圧　kV 0〜5
エミッション電流　mA 0〜50
安定度　% ± 0.5
入力電圧 100V/115V, 1.5A
寸法（W×H×D）※㎜ 482×133×432
質量　kg 7
※ W=Width, H=Height, D=Depth