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表面分析関連カスタム装置

表面分析装置のトップメーカーとして標準表面分析装置はもとより、
各種カスタムシステムの設計・製造を行っています。

EX.1 試料前処理装置

様々な前処理を行う試料処理系をESCA分析を中心とした表面分析装置と組み合せた装置を製作いたします。

試料前処理装置
 
加熱冷却系(1200ºC ~ -120ºC)
 
加圧セル(~10気圧)
 
試料冷却破断 ・試料引っ掻き機構
 
各種蒸着系M
   



EX.2 表面分析複合装置

AES/XPS/UPS/SIMS/SREM を始めとする表面分析手法と、SPM/LEEM,/PEEM等の最新の分析手法を組み合わせた装置を製作いたします。(詳細についてはお問い合わせ下さい)