薄膜とコーティングは、幅広い工業製品において目的の機能を果たすために、極めて広く用いられています。例えば、静電気防止、防食、摩耗低減、接着強化などの目的で施されるコーティング、また光学部品や鏡、半導体デバイス、磁気メディア、食品包装フィルム用の薄膜があげらます。

ガラスへの薄膜コーティング(XPS, AES, TOF-SIMS, D-SIMS)

建材用ガラス、レンズ、鏡やその他多くの製品がコーティングにより特定の光学的性質を付与されています。これらのコーティングはしばしば複数の層の積層により成り立っていますが、アルバック・ファイの表面分析装置により各層の組成分析、汚染検出、膜厚の評価が可能です。

図1: XPSスパッター深さ方向分析による建築用ガラスコーティングの分析。2keVのアルゴンイオンとザラー回転により深さ方向に極めて高い分解能を有しています。