PHI 5000 VersaProbe III 新オプションのご紹介
2019.02.13 UpdatePRODUCT
PHI 5000 VersaProbe III 新オプションのご紹介
低エネルギー逆光電子光法（LEIPS） 
KEY FEARURES
- 「逆」光電子スペクトルから非占有準位の情報を取得
- 電子親和力の測定
- 有機物の低損傷分析
- XPS, UPSとの同一点分析
反射電子エネルギー損失分光法（REELS）
KEY FEARURES
- 表面の電子状態や結合状態を分析
- 半導体のバンドギャップ測定
- 水素の相対含有量を比較
- 炭素のSp2/Sp3結合の判別