StrataPHIは、スペクトルおよび角度依存性XPS（ADXPS）データから、積層薄膜の構造を推定するソフトウェア製品です。

StrataPHIは、離散的な層からなる薄膜構造の厚さを計算することができます。また、各層に固有の化学的性質を持つ多層試料では、1つのスペクトルデータセットから厚さを計算することができます。

特長

• 角度分解XPS/HAXPESのデータから元素の深さの順番を推定し、各層の厚さを深さ方向プロファイル形式で表示。
• 化学組成の分かっている多層膜試料では、ひとつの取り出し角のデータから厚さを計算可能。
• モデルの保存と読み出しが可能。

• PowerPoint, Excelへの自動出力にも対応。

• すべてのPHI XPS装置からのデータ解析を実現。

応用範囲

• 多層薄膜の厚さ計算
• 不純物カーボン厚さ計算
• 表面被覆率（atoms/cm²）の計算
• 薄膜構造の高スループット計測

お問い合せ

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