サーベイイメージングでは、すべてのイメージピクセルでワイドスペクトルを測定します。

測定後にイメージコントラストが異なる領域から、
ワイドスペクトルを抽出し、組成の定性や定量が容易に行える

異なる領域から抽出されたワイドスペクトルを基準として、
LLS処理によるサーベイイメージの再構築ができる

ワイドスペクトルで定性された元素のイメージングを測定後に再構築ができる

３のイメージはケミカルなイメージングへの発展も可能である

すべてのピクセルからワイドスペクトルが抽出可能なサーベイイメージングは、再測定を回避可能で理想的なAESイメージングを実現します。

＊LLS：Linear Least Squares Fitting（最小二乗フィッティング）