特長

Windows10 (64bit）対応で、データベースによるピークの同定、Linear Least-Squares Fitting（LLS)、Target Factor Analysis（TFA）、Curve Fitting、スペクトルの重ね合わせ、拡大表示などの機能で、XPS/AESの多彩なデータ解析とデータプレゼンテーションを行なうことができます。

多数のデータをルーチン解析する場合には解析手順を自動化でき、データ出力や定量値のテーブル化作業などを自動処理することが可能です。

Ultra Thin Film Analysis（UTFA) を搭載しており、スパッタエッチングを行うことなく非破壊で極薄膜の構造解析を行うことが可能です（XPS限定）。

すべての処理結果は、コピー＆ペースト可能で迅速なレポート作成を支援します。