表面分析装置のトップメーカーとして、各種カスタムシステムの設計・製造を行っています。

試料前処理装置

VersaProbeに接続した試料処理室の例を下の写真で示します。
VersaProbeのオプションポートにゲートバルブを介して接続、UHV環境で試料の往来が可能です。
試料処理室には、試料加熱（室温～600℃）、ガス分析計、試料破断、試料導入室を備えており、処理室単独でも試料の準備・処理が可能です。