ご好評いただいております アルゴンガスクラスターイオン銃（GCIB）を
コンポーネント製品化いたしました。これによりGCIBが搭載可能な当社装置(XPS,TOF-SIMS)の幅が広がりました。

XPS アップデート対応機種

• PHI 5500 以降のXPS装置^（※１）
  （Quanteraシリーズ、VersaProbeシリーズ含む）

TOF-SIMS アップデート対応機種

• PHI TRIFT IV 以降のTOF-SIMS装置 ^(※１）

※１ アップデート可能な対象機種でも装置構成（オプションなど）によっては、搭載出来ない場合がございます。詳しい内容は「国内営業部」までお問い合わせください。